【摘 要】
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分子泵作为获得真空环境的核心设备,在半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域有着广泛的应用前景。介绍了涡轮分子泵的工作原理与基本结构特征,重点阐述了牵引式、涡轮式
【机 构】
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内蒙古工业大学,沈阳第一机床厂技术部
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分子泵作为获得真空环境的核心设备,在半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域有着广泛的应用前景。介绍了涡轮分子泵的工作原理与基本结构特征,重点阐述了牵引式、涡轮式与复合式三种分子泵的结构、材料与性能特征,最后给出了基于磁悬浮技术的高转速涡轮分子泵承载力计算方法。
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