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利用等离子体辅助的分子束外延（P-MBE）技术，在蓝宝石衬底上制备了氮掺杂的P型ZnO薄膜。通过变温霍尔测量研究了空穴浓度和迁移率随温度的变化特性。对载流子浓度拟合的结果表明氮受主具有75meV的能级深度。通过对各种散射机制下迁移率的讨论，发现由晶粒及其晶界组成的这种结构极大地降低了P型ZnO中载流子的迁移率。