论文部分内容阅读
本征的ZnO为高阻材料，电阻率高达10∧12Ω·cm，如何对ZnO进行掺杂，精确控制其电学性能，制备高质量的n型和p型材料是实现ZnO应用的关键。目前，研究表明通过掺杂，n型ZnO的制备已经能够精确控制，但由于ZnO中存在的缺陷，如氧空位和锌间隙原子，ZnO天然呈n型，p型的制备还有一定难度，本文报道了这方面研究的最新进展。