【摘 要】
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使用直流磁控溅射装置，通过在溅射过程中加入不同的金属网格，250℃条件下在玻璃衬底上制备了不同晶粒尺寸的TiO2薄膜。利用场发射扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射谱（XRD）对薄膜的表
【机 构】
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郑州大学物理工程学院,洛阳理工学院数理部
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使用直流磁控溅射装置，通过在溅射过程中加入不同的金属网格，250℃条件下在玻璃衬底上制备了不同晶粒尺寸的TiO2薄膜。利用场发射扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射谱（XRD）对薄膜的表面形貌结构和进行了分析。研究结果表明：在磁控溅射过程中金属网格的引入能有效减小TiO2薄膜的晶粒尺寸，并且金属网格的网孔尺寸越小，晶粒尺寸越小。
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