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本文研究了一种快速寻找TFT-LCD制程设备内particle源并改善的方法,研究表明利用5W1H及相关性的科学分析方法建立粒子的分布模型-Particle Map,可快速定位particle源,使得Particle寻找及改善的过程大大缩短,快速降低异物不良,提升产品品质。
TFT-LCD设备内Particle分析改善方法研究
【摘 要】
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本文研究了一种快速寻找TFT-LCD制程设备内particle源并改善的方法,研究表明利用5W1H及相关性的科学分析方法建立粒子的分布模型-Particle Map,可快速定位particle源,使得Par
【机 构】
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合肥京东方光电科技有限公司
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2017年18期
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