热点:《半导体国际》第四届晶圆清洗技术研讨会——经典重温

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2000年中芯国际落户上海浦东,中国的集成电路制造业拉开了新的篇章。而今,晶圆面积也由200mm扩大到了300mm,器件尺寸由最初的0.35微米以上到了现如今的65纳米,中国的半导体制造业正慢慢进入成熟阶段。随着新结构,新材料的引入,晶圆清洗也出现了一些新的技术,如:超声波清洗技术,激光震动清洗技术、低温气雾清洗技术、超临界清洗技术等等.
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