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<正> 自从1954年史密斯(C.S.Smith)发现了半导体材料硅、锗的压阻效应,半个世纪以来,半导体应变计在传感器方面的应用有了长足的进展.不仅使其工艺技术更完善、性能更为稳定,并且使传感器的集成化、微型化以及智能化成为可能.半导体应变计与箔式应变计、薄膜应变计及厚膜应变计一起构成现代传感器的四大关键工艺技术.本文主要介绍半导体应变计的若干特点及其在传感器方面的应用.