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法国瑞士成功研制出高性能氮化镓晶体管
法国瑞士成功研制出高性能氮化镓晶体管
来源 :安全与电磁兼容 | 被引量 : 0次 | 上传用户:good2009good
【摘 要】
:
法国和瑞士科学家首次使用氮化镓在(100)-硅(晶体取向为100)基座上,成功制造出了性能优异的高电子迁徙率晶体管(HEMTs)。此前,氮化镓只能用于(111)-硅上,而目前广泛使用的由硅制成的
【出 处】
:
安全与电磁兼容
【发表日期】
:
2011年5期
【关键词】
:
性能优异
氮化镓
晶体管
瑞士
法国
硅晶圆
晶体取向
金属氧化
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法国和瑞士科学家首次使用氮化镓在(100)-硅(晶体取向为100)基座上,成功制造出了性能优异的高电子迁徙率晶体管(HEMTs)。此前,氮化镓只能用于(111)-硅上,而目前广泛使用的由硅制成的互补性金属氧化半导体(CMOS)芯片一般在(100)-硅或(110)-硅晶圆上制成。
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