【摘 要】
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本文针对光学球面零件加工曲率半径面广的特点,进行接触式轮廓测量法、干涉仪测量法、三坐标测量法的比较测量,并对三种测量方法的测量误差进行探讨。通过对不同曲率半径球面镜
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本文针对光学球面零件加工曲率半径面广的特点,进行接触式轮廓测量法、干涉仪测量法、三坐标测量法的比较测量,并对三种测量方法的测量误差进行探讨。通过对不同曲率半径球面镜的测量实验分析,得出在曲率半径较小的球面镜测量时选用接触式轮廓测量法较好,在测量大口径、大曲率半径的球面镜采用三坐标测量法,测量中等曲率半径的球面镜时选用非接触式干涉测量方法。
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