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针对机器视觉方法对微机电系统(MEMS)动态参数进行测量时获得的图像模糊的问题,该文提出一种基于分形插值和小波变换模极大值的亚像素图像边缘检测算法。利用分形插值的自相似特性,解决了由模糊图像边缘的不规则性引起的无法进行高精度插值、不能重建图像边缘的问题,借助小波变换的高分辨和抗噪声能力,对图像进行小波变换模极大值边缘检测。实验结果表明,该算法可以达到0.02个像素精度。