【摘 要】
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半导体新材料的广泛使用与不断发展，使得生产半导体新材料过程产生了大量的清洗废水，如果对其处理不当，容易导致环境污染。因此，论文研究了半导体新材料清洗废水处理技术，并结合目前成功的工程案例经验，对半导体新材料废水进行研究，明确了采用分水及针对不同废水材料采用不同的预处理工艺，并采用A2/O+MBR组合工艺处理半导体新材料清洗废水，能保证出水达到DB 44/26—2001《广东省水污染物排放限值》第二
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半导体新材料的广泛使用与不断发展，使得生产半导体新材料过程产生了大量的清洗废水，如果对其处理不当，容易导致环境污染。因此，论文研究了半导体新材料清洗废水处理技术，并结合目前成功的工程案例经验，对半导体新材料废水进行研究，明确了采用分水及针对不同废水材料采用不同的预处理工艺，并采用A2/O+MBR组合工艺处理半导体新材料清洗废水，能保证出水达到DB 44/26—2001《广东省水污染物排放限值》第二时段一级排放标准要求。
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