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电沉积AlxGa1—xAs薄膜及性能研究
电沉积AlxGa1—xAs薄膜及性能研究
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mitudierwa
【摘 要】
:
利用电共沉积技术,在简单盐和带有络合剂的盐酸溶液中,制备了AlxGa1-xAs三元化合物薄膜.用能谱分析仪测量了薄膜成分,分析结果表明,该膜为符合化学计量比的三元化合物AlxGa1-
【作 者】
:
韩爱珍
王喜莲
高元凯
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
2002年1期
【关键词】
:
电共沉积
三元化合物
半导体薄膜
砷化镓
性能
镓铝砷化合物
co-electrodeposition AlxGa1-xAs tri-compound
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利用电共沉积技术,在简单盐和带有络合剂的盐酸溶液中,制备了AlxGa1-xAs三元化合物薄膜.用能谱分析仪测量了薄膜成分,分析结果表明,该膜为符合化学计量比的三元化合物AlxGa1-xAs半导体材料,用分光光度计对膜进行测量,在较宽光波波段获得一定的透射率.
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