【摘 要】
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在醋酸水溶液体系中采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了未掺杂和掺Ni的钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了Ni的加入对BST薄膜的结构和电学性能的影响.试验结果表明,随着
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)，上海市学科科研项目
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在醋酸水溶液体系中采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了未掺杂和掺Ni的钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了Ni的加入对BST薄膜的结构和电学性能的影响.试验结果表明,随着Ni加入量的增加,BST薄膜的晶粒尺寸减小,介电常数减小,介电损耗降低;当Ni的加入量在10%(摩尔分数)时,薄膜的介电常数、介电损耗、可调性和FOM分别为230.25、0.015、30.8%、20.53.研究结果表明,适量掺Ni的钛酸锶钡薄膜能满足可调微波器件的要求.
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