【摘 要】
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为提高1342 nm分布反馈（Distributed Feedback, DFB）半导体激光器的输出功率，设计了三种腔面膜膜系组合。采用电子束蒸发镀膜技术对该激光器进行了腔面镀膜，并测试了其在三种膜系组合下的输出功率。结果表明，采用增透膜为基底（Sub）/Al2O3/Ta2O5/空气（Air）、高反膜为Sub/（Al2O3/Si）~3Al2O3/Air的腔面膜膜系组合时，激光器的输出功率最高。前腔
【基金项目】
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国家重点研发计划资助课题（2018YFB2200301）； 研究生科研与实践创新计划校级项目（2021XKT1254）；
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为提高1342 nm分布反馈（Distributed Feedback, DFB）半导体激光器的输出功率，设计了三种腔面膜膜系组合。采用电子束蒸发镀膜技术对该激光器进行了腔面镀膜，并测试了其在三种膜系组合下的输出功率。结果表明，采用增透膜为基底（Sub）/Al2O3/Ta2O5/空气（Air）、高反膜为Sub/（Al2O3/Si）~3Al2O3/Air的腔面膜膜系组合时，激光器的输出功率最高。前腔面反射率为0.2%,后腔面反射率为98.6%。在260 mA的直流电流下，平均输出功率达到了85 mW以上（增加了85.6%）,斜率效率提升了82.9%。通过采用此膜系组合进行激光器腔面镀膜，可以大幅提升1342 nm DFB半导体激光器的输出功率。
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