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期刊论文
有限元法计算膜厚均匀性
有限元法计算膜厚均匀性
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:joyuan100
【摘 要】
:
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具,旋转球面夹具,行星旋转球面 夹具的膜厚均匀性,分析了均匀的影响因素,指出了工艺中的调整方法。
【作 者】
:
阴晓俊
费书国
等
【机 构】
:
沈阳仪器表工艺研究所
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
膜厚均匀性
发射特性
蒸发源
旋转
倾斜
光学薄膜
有限元法
film thickness uniformityemissive parameterdeflec
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利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具,旋转球面夹具,行星旋转球面 夹具的膜厚均匀性,分析了均匀的影响因素,指出了工艺中的调整方法。
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