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二维光栅平面精密位移测量系统研究
二维光栅平面精密位移测量系统研究
来源 :合肥工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:mile999
【摘 要】
:
文章利用二维衍射光栅作为测量基准进行平面微位移测量,采用偏振干涉的原理设计系统的光路。通过对干涉条纹的光电转换得到质量较好的正交信号,经对系统误差的补偿,把系统的
【作 者】
:
夏豪杰
费业泰
王中宇
【机 构】
:
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
:
合肥工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2007年5期
【关键词】
:
二维光栅
平面位移测量
干涉信号
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文章利用二维衍射光栅作为测量基准进行平面微位移测量,采用偏振干涉的原理设计系统的光路。通过对干涉条纹的光电转换得到质量较好的正交信号,经对系统误差的补偿,把系统的测量结果与双频干涉仪进行对比,此系统可实现纳米级分辨率的二维平面测量。
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