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文章利用二维衍射光栅作为测量基准进行平面微位移测量,采用偏振干涉的原理设计系统的光路。通过对干涉条纹的光电转换得到质量较好的正交信号,经对系统误差的补偿,把系统的测量结果与双频干涉仪进行对比,此系统可实现纳米级分辨率的二维平面测量。
二维光栅平面精密位移测量系统研究
【摘 要】
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文章利用二维衍射光栅作为测量基准进行平面微位移测量,采用偏振干涉的原理设计系统的光路。通过对干涉条纹的光电转换得到质量较好的正交信号,经对系统误差的补偿,把系统的
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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合肥工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年5期
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