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期刊论文
超高压清洗技术的应用
超高压清洗技术的应用
来源 :山西能源与节能 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oyxz1988
【摘 要】
:
叙述了采用常压喷淋清洗模式,容易在玻璃表面形成很薄的水膜,因此降低清洗效率,且用水量巨大的问题以及开发出的超高压喷淋清洗装置,不但可以提高清洗效率,也大幅降低DI(去离子)水的
【作 者】
:
韩宁宇
杜立新
【机 构】
:
北京清大天达光电科技有限公司
【出 处】
:
山西能源与节能
【发表日期】
:
2009年3期
【关键词】
:
超高压微细颗粒喷淋清洗(HPMJ)
玻璃基板
清洗工艺
污染物
Super high pressure micro jet
Glass substrate
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叙述了采用常压喷淋清洗模式,容易在玻璃表面形成很薄的水膜,因此降低清洗效率,且用水量巨大的问题以及开发出的超高压喷淋清洗装置,不但可以提高清洗效率,也大幅降低DI(去离子)水的使用量。
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