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本发明提供一种能对以钼类金属和铝类金属为主成分的金属层叠膜进行整体蚀刻，且可以抑制各膜的侧刻蚀量，将锥角控制为20—70度的优异的蚀刻液。该蚀刻液是对在绝缘膜基板上形成的铝类金属膜及钼类金属膜的层叠膜进行蚀刻的蚀刻液，含有磺酸化合物、磷酸和硝酸，
铝类金属膜及钼类金属膜的层叠膜用蚀刻液
【摘 要】
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本发明提供一种能对以钼类金属和铝类金属为主成分的金属层叠膜进行整体蚀刻，且可以抑制各膜的侧刻蚀量，将锥角控制为20—70度的优异的蚀刻液。该蚀刻液是对在绝缘膜基板上形成
【出 处】
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中国钼业
【发表日期】
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2009年2期
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