【摘 要】
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A sinusoidal phase-modulating (SPM) laser diode (LD) interferometer for real-time surface profile measurement is proposed and its principle is analyzed. The pha
【机 构】
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Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics Chinese Academy of Sciences,Shanghai Institute of Op
【出 处】
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Chinese Optics Letters
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A sinusoidal phase-modulating (SPM) laser diode (LD) interferometer for real-time surface profile measurement is proposed and its principle is analyzed. The phase signal of the surface profile is detected from the sinusoidal phase-modulating interference signal using a real-time phase detection circuit. For 60 x 60 measurement points of the surface profile, the measuring time is 10 ms. A root mean square (RMS) measurement repeatability of 3.93 nm is realized, and the measurement resolution reaches 0.19 nm.
The sinusoidal phase-modulating (SPM) laser diode (LD) interferometer for real-time surface profile measurement is proposed and its principle is analyzed. The phase signal of the surface profile is detected from the sinusoidal phase-modulating interference signal using a real- A root mean square (RMS) measurement repeatability of 3.93 nm is realized, and the measurement resolution reaches 0.19 nm.
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