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硅片良品率的高低与客户的经济效益息息相关,单晶PERC管式镀膜自动化设备中影响良品率的因素主要有吸盘印和划伤。本文主要分析了其产生的原因,并通过有效的改进措施使良品率大幅提升,为客户节约了成本。
管式镀膜自动化设备提升良品率的措施
【摘 要】
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硅片良品率的高低与客户的经济效益息息相关,单晶PERC管式镀膜自动化设备中影响良品率的因素主要有吸盘印和划伤。本文主要分析了其产生的原因,并通过有效的改进措施使良品率
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2019年3期
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