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首先给出在ＩｎＰ衬底上利用ＭＯＣＶＤ法生长ＩｎＰ、ＩｎＧａＡｓ的生长条件，而后分别给出了ＩｎＰ／ＩｎＰ的生长特性，ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＰ的组份控制和生长特性及生长温度对ＩｎＧａＡｓ特性的影响。
MOCVD生长InGaAs／InP体材料研究
【摘 要】
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首先给出在ＩｎＰ衬底上利用ＭＯＣＶＤ法生长ＩｎＰ、ＩｎＧａＡｓ的生长条件，而后分别给出了ＩｎＰ／ＩｎＰ的生长特性，ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＰ的组份控制和生长特性及生长温度对ＩｎＧａＡｓ特性的影响。
【机 构】
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厦门大学物理系,吉林大学集成光电子国家重点实验室
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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福建省自然科学基金,国家自然科学基金,集成光电子学国家重点实验室资助
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