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期刊论文
氧化多孔硅隔离技术研究
氧化多孔硅隔离技术研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuwumalan
【摘 要】
:
我们对多孔硅氧化隔离技术进行了初步的实验研究.用SEM对PSL进行了观测.针对所出现的沟道漏电现象,采用了在热氧化之前于N2中热处理的消除漏电方法.对OPS隔离性能的测量结果
【作 者】
:
陈南翔
刘佑宝
【机 构】
:
北京师范大学,陕西骊山微电子公司
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1987年3期
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我们对多孔硅氧化隔离技术进行了初步的实验研究.用SEM对PSL进行了观测.针对所出现的沟道漏电现象,采用了在热氧化之前于N2中热处理的消除漏电方法.对OPS隔离性能的测量结果表明,与常规PN结隔离相比,击穿电压有了很大提高,漏电流也降低了一个数量级.
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