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MEMS做为本世纪前沿技术,有着非常广阔的前景,越来越受到业界专注。本文介绍了华润上华设计中心研发的3轴陀螺仪专用ASIC的相关设计方法和电路。该电路主要由电荷放大器、相位检测器、积分电路、高性能模数转换器、温度感应器及直接数字综合电路等组成,其突出特点是高精度、低功耗、小面积,在满足不断增长的消费电子用MEMS陀螺仪市场需求方面处于世界前沿。