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日本产业技术综合研究所开发出利用激光化学加工技术对石英玻璃表面进行精细加工的装置，能在表面硬度高的石英玻璃等坚硬表面进行高品位精细加工。该装置利用“激光背面湿式加工法”，完成了高精度的暴光掩膜缩小型和激光扫描照射型两种加工装置，能迅速进行石英玻璃高品位大面积加工。
石英玻璃激光精细加工技术
【摘 要】
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日本产业技术综合研究所开发出利用激光化学加工技术对石英玻璃表面进行精细加工的装置，能在表面硬度高的石英玻璃等坚硬表面进行高品位精细加工。该装置利用“激光背面湿式加
【出 处】
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中国非金属矿工业导刊
【发表日期】
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2005年6期
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