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研究了一种直接接触悬臂梁式RF—MEMS开关，悬臂梁采用Al金属材料．开关通过静电控制，且与信号通道分离．为了优化材料结构和获得好的性能，进行了有限元ANSYS模拟．采用表面微加工工艺来制作开关，获得满意结果．器件的驱动电压为12V，与ANSYS模拟结果11V基本相符；器件的隔离度，在0．05-10GHz的范围内，实验测试与HFSS模拟的结果基本一致，都优于-20dB；器件的插入损耗，HFSS模拟小于-0．2dB，而实验测试小于-0．9dB，偏高是由于悬臂梁表面不平，导致接触电阻增大，在测试中引入接触阻抗