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TiO2纳米阵列（纳米管、纳米棒）结构具有良好的力学性能、化学稳定性以及抗腐蚀性能，在许多技术领域具有广阔的应用前景。采用阳极氧化法在工业纯钛片表面制备出高度有序的TiO2纳米管阵列和纳米棒阵列，研究了电解液浓度和阳极氧化时间对TiO2纳米阵列结构的影响，并对其形成机理进行了初步探讨。结果表明，低浓度的HF酸电解液有利于制备纳米管阵列，高浓度的HF酸电解液有利于制备纳米棒阵列。