硅-硅直接键合的亲水处理及界面电特性

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研究了基于亲水处理的微观机理分析和不同清洗剂亲水处理的过程及效果,提出了一种独特的三步亲水处理法。这一方法既能顺利完成室温预键合,又能减少界面上非定形大尺寸SiOx体的生成,避免了界面对电输运的势垒障碍,获得了理想的键合界面 The microscopic mechanism analysis based on hydrophilic treatment and the process and effect of different cleaning agent hydrophilic treatment are studied. A unique three-step hydrophilic treatment method is proposed. This method can not only successfully pre-bond at room temperature, but also reduce the formation of large-size amorphous SiOx bulk on the interface, avoid the barriers to the transport of the interface and obtain the ideal bonding interface
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