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近年来，铁电薄膜制备技术的迅速发展使得人工介电超晶格的生长成为现实。简介介绍限有关介电多层膜和人工介电超晶格的制备、结构和性能的研究状况，讨论了进一步研究需解决的问题。
介电多层膜与人工介电超晶格的研究
【摘 要】
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近年来，铁电薄膜制备技术的迅速发展使得人工介电超晶格的生长成为现实。简介介绍限有关介电多层膜和人工介电超晶格的制备、结构和性能的研究状况，讨论了进一步研究需解决的问
【机 构】
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西安交通大学电子材料与器件研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1997年5期
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