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本文提出了一个由氦氖激光器、光学系统、CCD和微机组成的高精度线径动态检测系统。该系统采用激光作为照明光源和CCD高速扫描,通过微机进行测量误差动态修正,具有精度高、成本低、可靠性好、对光学系统要求低等优点。
高精度线径动态检测仪的研制
【摘 要】
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本文提出了一个由氦氖激光器、光学系统、CCD和微机组成的高精度线径动态检测系统。该系统采用激光作为照明光源和CCD高速扫描,通过微机进行测量误差动态修正,具有精度高、成本低、可靠性好、对光学系统要求低等优点。
【机 构】
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福建师范大学激光所,福建师范大学光仪厂
【出 处】
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福建师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1989年04期
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