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在扫描电子显微镜上利用1—3KV的低加速电压操作,如果电子枪的几何关系保持不变,其亮度受到空间电荷效应的影响而显著下降。本文通过试验论述了缩短三极电子枪阳极与栅极的间距是提高低压电子枪亮度的有效方法。
扫描电镜低电压操作时电子枪亮度的改进
【摘 要】
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在扫描电子显微镜上利用1—3KV的低加速电压操作,如果电子枪的几何关系保持不变,其亮度受到空间电荷效应的影响而显著下降。本文通过试验论述了缩短三极电子枪阳极与栅极的间
【机 构】
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华南理工大学测试中心
【出 处】
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华南理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1989年2期
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