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文章在比较不同数据传输方式的基础上简述了在电子束曝光过程中上位机曝光软件和下位机工件台控制系统之间的控制指令结构及其传送和转换过程.同时对下位机工件台控制系统的硬件结构和控制软件流程给予了详细介绍.最终实现了电子束分场曝光过程中的工件台移动控制.
电子束曝光机工件台控制系统设计
【摘 要】
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文章在比较不同数据传输方式的基础上简述了在电子束曝光过程中上位机曝光软件和下位机工件台控制系统之间的控制指令结构及其传送和转换过程.同时对下位机工件台控制系统的
【机 构】
：
中国科学院电工研究所
【出 处】
：
组合机床与自动化加工技术
【发表日期】
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2005年2期
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