淮南纳米氮化硅中试装置粉体合成室压力数学模型

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本文给出的是在建中的淮南纳米氮化硅中试装置粉体合成室压力参数的数学模型,模型用于指导激光制粉合成室压力参数控制回路校正环节设计,对于其他气象反应系统过程参数动态特性自动控制系统设计具有参考价值。
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