大数值孔径、高次非球面透镜的加工与检验

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通过一空间相机光学系统中某透镜的高次非球面表面加工过程,提出了一种基于小磨头数控光学表面成型技术(CCOS,Computercontrolopticalsurfacing)和非球面轮廓检验、零位补偿检验技术的中等口径高次非球面光学表面的加工、检测方法,并且给出了补偿器实际光学设计结果。文中采用这种方法加工的高次非球面表面,最终精度优于1λP V(λ=632.8nm),满足了设计要求。对这种技术的适用范围进行了简明的讨论。 Through a high-order aspheric surface machining process of a lens in a space camera optical system, a medium-sized caliper based on a small grinding head numerical control optical surface forming technology (CCOS, Computercontrolopticalsurfacing) and an aspheric surface contouring test and a zero compensation testing technique is proposed High-order aspheric optical surface processing, testing methods, and gives the actual optical design of the compensator results. In this paper, the high order aspheric surface processed by this method is better than 1λP V (λ = 632.8nm) to meet the design requirements. A brief discussion of the applicability of this technique is made.
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