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介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，使用了一个主动阀和一个被动阀，并利用压电双晶片作为驱动部件。压电双晶片和PDMS泵膜的组合可以产生较大的泵腔体积改变和压缩比，显著降低了加工成本，并提高了成品率。对压电微泵的输出流量进行了测试，结果显示：电压、频率以及背压对流量均有显著影响。在100V，25Hz的方波驱动下，该压电微泵的最大输出流量为458μL／min，最大输出压力为6kPa。