【摘 要】
：
随着集成电路用晶圆向大尺寸化方向发展,国内10~15 cm硅抛光片市场竞争日益激烈,外延及器件厂家对抛光片的表面质量和可利用率要求越来越高。边缘亮线是一种存在于硅片抛光面
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
论文部分内容阅读
随着集成电路用晶圆向大尺寸化方向发展,国内10~15 cm硅抛光片市场竞争日益激烈,外延及器件厂家对抛光片的表面质量和可利用率要求越来越高。边缘亮线是一种存在于硅片抛光面边缘的腐蚀缺陷,对抛光片的成品率及后续工艺质量有重要影响。通过对硅片边缘表面形貌进行微观分析,揭示了"边缘亮线"产生的机理,分别研究了抛光工艺条件和倒角工艺条件对边缘缺陷的影响,通过优化抛光工艺条件,消除了抛光片表面"边缘亮线"缺陷。
其他文献
看似很深奥的科学,其实和我们身边的实际生活有着千丝万缕的联系,科学来源于我们的生活,而又服务于我们的生活。如何让我们的学生对《科学》课感兴趣,使他们具有学《科学》课
<正>本方法通过采用不同于国标GB/T5009.192-2003第二法的流动相和样品前处理技术检测动物性食品中盐酸克伦特罗(瘦肉精),获得了高于国标的检出限和收回率。同时避免了复杂的
以扎赉诺尔区矿山地质环境治理为例,分析矿山地质环境现状及投入情况,构建矿山地质环境综合评价指标体系。该体系中增添了以往矿山地质环境评价中较少出现的区位置和治理可行
以甲苯二异氰酸酯(TDI)、聚酯、蓖麻油、纳米SiO2等为主要原料,采用原位聚合复合工艺制备了单组分水性纳米SiO2/聚氨酯粘接剂。讨论了多元醇、纳米材料及其加入方式对所制备
小令中描写的直观场景埋伏两重喻意:"绿肥红瘦"指代春光渐去是转喻层面,这是至今被读者所赏识的;但海棠和绿暗红稀又暗示美人迟暮,这是其隐喻层面。开掘出后者,乃见这首词系
<正>亲其师方能信其道。一个为学生亲近和喜爱的教师,容易被学生信赖和接受。新一轮课程改革正在深入进行,语文学科的广泛性要求语文教师在苦练"内功"、夯实专业素质和文化底
对额定电压1 kV及以下无卤低烟阻燃船用纵向水密封电缆的开发研究作了介绍,并对电缆纵向水密封性能进行了试验.
目的 建立同时测定知母总皂苷中知母皂苷BII和知母皂苷BIII含量的HPLC-ELSD法。方法 Shim-pack VP-ODS C18色谱柱（4.6mm×250 mm,5μm）;流动相：乙腈-0.05%甲酸溶液,梯度洗脱