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介绍了一种新型的基于激光扫描原理的大尺寸工件孔－－孔同轴度测量原理和测量仪器。由于采用了反馈系统自动调节补偿光束漂移、大气扰动的误差，使精度有了较大提高，在３０ｍ测量范围内相对误差这２×１０＾－６。可应用于大型工件设备的制造和装配过程中的检测。
一种新型激光扫描式大工件孔——孔同轴度测量仪
【摘 要】
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介绍了一种新型的基于激光扫描原理的大尺寸工件孔－－孔同轴度测量原理和测量仪器。由于采用了反馈系统自动调节补偿光束漂移、大气扰动的误差，使精度有了较大提高，在３０ｍ测量范围内相
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国
【出 处】
：
激光与红外
【发表日期】
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2000年5期
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