【摘 要】
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为满足非球面光学元件表面精度的测量要求,设计和实现了一种高效数控非球面测量系统.系统基于运动控制技术,构建了四轴联动的测量工作平台.根据数据采集原理,实现对非球面工
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为满足非球面光学元件表面精度的测量要求,设计和实现了一种高效数控非球面测量系统.系统基于运动控制技术,构建了四轴联动的测量工作平台.根据数据采集原理,实现对非球面工件表面形位参数进行连续采样.整个系统采用工控微机作为上位机非实时控制,下位机采用高速DSP进行实时控制.在Windows操作系统下,用Visaul C++开发工具完成了测量系统的软件开发.最后通过实验对测量系统的稳定性及其误差进行了分析.实验结果表明.系统行程为100～120 mm,系统误差小于5 μm,能满足普通光学非球面元件测量精度的要求,
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