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HOLLIAS-LEC G3 PLC在SiC晶体生长炉控制系统中的应用
HOLLIAS-LEC G3 PLC在SiC晶体生长炉控制系统中的应用
来源 :世界仪表与自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ldbeight
【摘 要】
:
作为一种新型的半导体材料.SiC(碳化硅)以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率/高额电子器件最重要的半导体材料。特别是在极
【作 者】
:
王国锋
【机 构】
:
北京和利时系统工程股份有限公司
【出 处】
:
世界仪表与自动化
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
SiC晶体生长炉
控制系统
PLC
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作为一种新型的半导体材料.SiC(碳化硅)以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率/高额电子器件最重要的半导体材料。特别是在极端条件和恶劣条件下应用时.SiC器件的特性远远超过了Si器件和GaAs器件。
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