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期刊论文
微电子机械系统的制作技术
微电子机械系统的制作技术
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenyongze
【摘 要】
:
简要介绍了微电子机械系统制作的主要技术;体微机械加工技术,表面微机械加工技术、键合技术和微模制成型技术。
【作 者】
:
揭景耀
【机 构】
:
华东交通大学
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
1997年6期
【关键词】
:
微电子机械系统
微机械
LIGA技术
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简要介绍了微电子机械系统制作的主要技术;体微机械加工技术,表面微机械加工技术、键合技术和微模制成型技术。
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