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本文评述了光诱导MOCVD技术的发展水平和技术进展。着重从生长动力学的角度介绍了光诱导MOCVD技术的原理、实验装置和光源的选取。并总结了可供借鉴的光诱导MOCVD的淀积规律,最后展望了该技术的未来。
光诱导MOCVD技术现状及前景展望
【摘 要】
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本文评述了光诱导MOCVD技术的发展水平和技术进展。着重从生长动力学的角度介绍了光诱导MOCVD技术的原理、实验装置和光源的选取。并总结了可供借鉴的光诱导MOCVD的淀积规律,
【机 构】
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河北大学
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1990年5期
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