高Al组分AlGaN基紫外LED结构材料

来源 :厦门大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxn1954

【摘要】

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采用金属有机物气相外延（MOVPE）技术在c面蓝宝石衬底上，引入脉冲原子层外延技术，制备了一系列表面平整度较高的高Al组分AlGaN基异质结构外延片．并采用电子束金属蒸镀技术及优化热

【作者】

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张彬彬李书平李金钗蔡端俊陈航洋刘达艺康俊勇

【机构】

：

厦门大学物理与机电工程学院

【出处】

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厦门大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2012年1期

【关键词】

：

AlGaN 量子阱欧姆接触紫外LED

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采用金属有机物气相外延（MOVPE）技术在c面蓝宝石衬底上，引入脉冲原子层外延技术，制备了一系列表面平整度较高的高Al组分AlGaN基异质结构外延片．并采用电子束金属蒸镀技术及优化热退火方法，获得了良好的欧姆接触电极，进一步将外延片制备成LED管芯．通过对量子结构有源层量子阱混晶组分的设计和调整，掌握并实现了主波长260-330nm紫外LED结构材料的制备．

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