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激发波长和电化学腐蚀对注碳外延硅荧光特性的影响
激发波长和电化学腐蚀对注碳外延硅荧光特性的影响
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:floraccc
【摘 要】
:
电化学腐蚀是蓝光发射的前提,但不同的电化学腐蚀条件对发光强度和峰位影响极大,随着电化学腐蚀条件的加强,蓝光峰将被红光峰代替.激发光波长亦可影响蓝光发射,如260 nm的激
【作 者】
:
王强
李忠
李玉国
石礼伟
郭兴龙
【机 构】
:
山东师范大学半导体研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
激发波长
电化学腐蚀
蓝光发射
注碳外延硅
荧光特性
C+ implantationanodizationblue luminescenceluminescen
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电化学腐蚀是蓝光发射的前提,但不同的电化学腐蚀条件对发光强度和峰位影响极大,随着电化学腐蚀条件的加强,蓝光峰将被红光峰代替.激发光波长亦可影响蓝光发射,如260 nm的激发光将引起在360 nm光激发下所获得的431 nm蓝光峰的蓝移.
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