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MEMS技术的出现使得开发小型化、低成本、高安全性和高可靠性的计量仪器成为可能。微型机械电子系统(MEMS,Microelectromechanical systems)是一种机械结构和电子设备在微米量级的集成化系统,体积小、重量轻,适合大批量生产,并能够实现机、电、热、光等多物理场器件组合等优点,非常适合计量系统的大批量生产和应用,将给计量技术的发展带来巨大的变革。通过微机电系统在计量领域中的应用,证明了MEMS已经拓展成为一种"使能技术(Enabling technology)",这种技术可以将