用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 2次 | 上传用户：wyxxzh

【摘要】

：

由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的f′max以求得更接近真实值的线节距。为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD

【作者】

：

李同保翁浚婧雷李华李源蔡潇雨马艳

【机构】

：

同济大学物理科学与工程学院,上海市计量测试技术研究院

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2015年01期

【关键词】

：

快速傅里叶变换法线节距一维线间隔标准样板微纳米计量 Fast Fourier Transforms（FFT） method pitch one dimen

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