【摘 要】
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采用非平衡磁控溅射及等离子体离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度膜.研究了类金刚石(DLC)梯度膜的结构特征和力学性能.试验结果表明
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采用非平衡磁控溅射及等离子体离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度膜.研究了类金刚石(DLC)梯度膜的结构特征和力学性能.试验结果表明,N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度膜最外层为典型的DLC层.梯度膜的硬度、弹性模量、断裂韧性以及界面结合强度值分别为19.84 GPa、190.03 GPa、3.75 MPa*m1/2和5.68 MPa*m1/2.试验所制备的DLC多层膜比DLC单层膜具有更好的综合机械性能.
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