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TALBOT干涉原理与微小位移测量研究
TALBOT干涉原理与微小位移测量研究
来源 :中国计量学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sjtwwf
【摘 要】
:
本文从光波传播理论出发,运用近代光学和几何光学原理讨论了广义TALBOT 效应;用莫尔偏转技术讨论了 TALBOT 干涉仪原理;以此建立了测量微小的 TALBOT 干涉仪数学、物理模型。
【作 者】
:
单越康
【机 构】
:
中国计量学院机械量计量系
【出 处】
:
中国计量学院学报
【发表日期】
:
1991年1期
【关键词】
:
干涉仪
莫尔技术
微小位移测量
interferometerMoire technologysmall displacement measurement
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本文从光波传播理论出发,运用近代光学和几何光学原理讨论了广义TALBOT 效应;用莫尔偏转技术讨论了 TALBOT 干涉仪原理;以此建立了测量微小的 TALBOT 干涉仪数学、物理模型。比对测量表明测量原理正确、可靠。
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