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通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜。采用ＸＲＤ衍射、ＴＥＭ和显微硬度等测试方法对ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究。结果表明，ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的晶粒大小为１０￣２０ｎｍ；薄膜总体表现出硬度增强效果，在ＴｉＮ：ＡｌＮ（体积比）≈１：１时，薄膜硬度获得极大值ＨＫ３２．２５ＧＰａ。