TiN/AlN纳米混合膜的微结构及力学性能

来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwb316
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了TiN/AlN纳米混合膜。采用XRD衍射、TEM和显微硬度等测试方法对TiN/AlN纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究。结果表明,TiN/AlN纳米混合膜的晶粒大小为10 ̄20nm;薄膜总体表现出硬度增强效果,在TiN:AlN(体积比)≈1:1时,薄膜硬度获得极大值HK32.25GPa。
其他文献
浙江省土壤元素地球化学研究表明,表层土壤与深层土壤的地球化学元素组合特征较为相似,反映出I、II环境土壤元素之间良好的承袭性;Si、Ca、Mg、K、Na、 Al等造岩元素在成土过
分析了我国目前火电总装机容量、煤炭资源供求关系的变化及其未来的发展趋势,对目前电煤供应链存在的问题进行了深入分析探讨,提出了加快煤炭企业兼并重组,建立全国统一的煤炭交
党的十八大以来,特别是党的十九大以来,在习近平新时代中国特色社会主义思想的指引下,在坚持和完善中国特色社会主义制度、推进国家治理体系和治理能力现代化战略进程中,我国
由于吉林省地区冬季负荷明显高于夏季负荷,为了提高电网在冬季的输送能力,同时保证输电线路本体温度在国家标准允许范围内,仿真研究了应用于10-220kV电网的5种规格的导线载流量
直埋供热管道保温厚度计算的探讨哈尔滨建筑工程学院盛晓文供热管道采用直埋敷设,在我国应用已经很久了。从最早的灰渣、草绳保温,到近年来引进的聚胺脂泡沫塑料预制保温管,其技
一、企业概况 该公司是一家国家科研机构控股的高技术材料企业,注册资本为1459万元,公司经营范围为研究开发、生产和销售电子粉体材料、压敏陶瓷材料、功能电子材料、锂离子电
本文对红茶菌进行了急性毒性及亚慢性毒性实验研究。1.采用经浓缩16倍原液(400毫升/公斤),对小鼠经口急性毒性实验结果表明:全部实验期无一只动物死亡。一周内亦未见有急性中
慢性疼痛患者不但长期被难以忍受的持续性疼痛所折磨,还往往伴随着认知功能损伤和情绪障碍。最近一项临床调查的数据显示,情绪障碍是与慢性疼痛相关的第二种最常见的疾患。此
因材施教是舞蹈教学中的重要原则之一。舞蹈教学中的因材施教是针对受教育者的身体结构,能力,性格,志趣等具体情况,施行不同的教育,使每个受教育者的潜在能力得到最大的发挥
1月27日,在科技部的支持下,黑龙江、吉林、辽宁三省科技厅和大连、沈阳、长春、哈尔滨四市科技局共同发起创立的东北技术转移联盟在哈尔滨正式成立。