无机化学工程：二氧化钒薄膜制备研究的最新进展

来源 :中国学术期刊文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cr15mo3

【摘要】

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VO2在68℃附近发生从高温金属相到低温半导体相的突变，且相变可逆．由于相变前后其电、磁、光性能有较大的变化，使得它在光电开关材料、存储介质、气敏传感器和智能玻璃等方面有

【作者】

：

丰世凤宁桂玲王舰林源

【机构】

：

大连理工大学化工学院精细化工国家重点实验室,不详

【出处】

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中国学术期刊文摘

【发表日期】

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2007年22期

【关键词】

：

二氧化钒相变薄膜制备

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VO2在68℃附近发生从高温金属相到低温半导体相的突变，且相变可逆．由于相变前后其电、磁、光性能有较大的变化，使得它在光电开关材料、存储介质、气敏传感器和智能玻璃等方面有着广泛的应用．然而由于VO2稳定存在的组分范围狭窄，使得制备高纯度VO2薄膜较为困难．为此人们做了很多工作来研究V02薄膜的制备．该文综述了2000年以来VO2薄膜制备方法的研究情况，比较了各种制备方法对薄膜性能的影响，

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