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气浮轴承存在明显的非线性的特性，而精密工作台又要求较高的精度，传统的PID控制方法较难满足系统定位精度的要求。在分析精密气浮平台工作原理的基础上，建立了气浮工作台直线运动的数学模型和基于滑模控制（SMC）的系统控制模型，并进行了参数分析和研究。研究结果表明，在受外界干扰较大，且存在较大非线性情况下，工作台仍能达到较好的定位精度，实现几十纳米的定位控制精度，证明了SMC控制器具有较好的鲁棒性。参数分析结果显示，气浮阻尼的存在有利于提高平台的定位精度。