【摘 要】
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为了实现数字化电控调节光衰减量,提出一种电磁线圈驱动的微光机电系统(MOEMS)可调光衰减器,该衰减器主要通过电磁力步进驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮,从而移动挡光片
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室、光及电磁波研究中心
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为了实现数字化电控调节光衰减量,提出一种电磁线圈驱动的微光机电系统(MOEMS)可调光衰减器,该衰减器主要通过电磁力步进驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮,从而移动挡光片调节光衰减量,实现单模光纤中光传输功率的数字化电控调节.器件采用非硅基底MOEMS技术制作,并具有断电自锁功能.主要对该器件的损耗,光功率衰减量作了理论计算,并进行器件性能测试,测得主要技术指标原始插入损耗< 0.3 dB,波长相关损耗< 0.2 dB,衰减范围0～40 dB,回波损耗> 50 dB.
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